DSライブラリー プラズマ

エレクトロニクスからエネルギー応用まで

DSライブラリー プラズマ

  • 発売日: 1990/02/15
  • 著者: 谷本充司
  • 判型: B6
  • 頁: 184
  • ISBN: 978-4-485-57435-5
  • 定価: 2,200円(税込)
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  • 目次
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超LSIに代表される半導体素子のプロセス、ハイテク新素材の開発、プラズマを媒介とする種々のレーザ、さらに核融合との係わりなど、広範囲な分野にめざましい進出を続けるプラズマ技術を、その概念から説き起こし、基本的な特性とそれに対応する数々の応用を平易に解説している格好の入門書です。

Ⅰ 第四の物質 “プラズマ”とは

 

1. 近代科学の曙とプラズマ

2. プラズマが生み出す極限状態と応用の接点

3. 温度と物質の相状態

4. 原子・分子から電子とイオンへ

5. プラズマとは

6. いろいろなプラズマ

6.1 加熱によるプラズマの発生

6.2 液体・固体の中に存在するプラズマ

6.3 宇宙のプラズマ

6.4 各種のプラズマの存在条件

 

Ⅱ プラズマの特性

 

7. 荷電粒子の振る舞い

7.1 電界の中の荷電粒子の運動

7.2 磁界の中の荷電粒子の運動

7.3 電界の磁界が共存する場合の荷電粒子の運動

7.4 クーロン衝突

7.5 衝突が荷電粒子の運動に与える影響

8. 励起粒子の活性

8.1 原子・分子の励起状態とは

8.2 粒子の励起

8.3 励起粒子の物質的特性

8.4 励起粒子の化学的存在

9. 熱力学的特性

10. 電気的特性

10.1 導電性

10.2 電磁流体としてのプラズマ

10.3 電磁界のプラズマ電流による力の発生

10.4 磁界が存在するプラズマ中の電気伝導

11. プラズマ中の集団現象

11.1 プラズマ振動

11.2 デバイ遮蔽

11.3 プラズマ波動

12. プラズマ特性の計測(診断)

12.1 静電探針法

12.2 分光法

12.3 粒子分析法

12.4 電磁波法

 

Ⅲ プラズマの応用

 

13. プラズマの特性と応用の対応

14. 物質の生成と加工

14.1 プラズマ加工・放電加工

14.2 材料の生成

14.3 半導体デバイスプロセス

15. 光と粒子の放射の利用

15.1 照明とディスプレイ

15.2 レーザ

15.3 電磁波発振器

15.4 X線リソグラフィ

15.5 静電気応用

16. エネルギー応用

16.1 核融合

16.2 MHD(電磁流体)発電

16.3 熱電子発電

17. 電力の制御

17.1 スイッチ素子

17.2 電力設備保護機器

17.3 レーザ誘雷

18. プラズマによる推進

18.1 プラズマロケットエンジン

18.2 レールガン,ランチャー

19. 分岐・計測への応用

19.1 プラズマ分光分析

19.2 プラズマ利用放射線・素粒子検出器

20. 未来を切り拓くプラズマの応用

20.1 極限環境の発生

20.2 X線レーザ

20.3 自由電子レーザ

20.4 プラズマ加速器

 

参考文献